新聞事件：

• 歐姆龍開始采用MEMS工藝技術的超結(jié)構造MOSFET

事件影響：

• 該電極的制造工藝采用了CMOS工藝
• 歐姆龍與IceMos計劃今后進一步擴充產(chǎn)品陣容

美國IceMos Technology與歐姆龍開始量產(chǎn)采用MEMS工藝技術的超結(jié)（Super-Junction）構造MOSFET。IceMos Technology主要負責設計和開發(fā)，歐姆龍負責生產(chǎn)。首批量產(chǎn)的是兩種產(chǎn)品。分別是耐壓為650V、最大漏電流為20A、導通電阻為170mΩ的產(chǎn)品和耐壓為600V、最大漏電流為20A、導通電阻為160mΩ的產(chǎn)品。作為耐壓600V級的產(chǎn)品，導通電阻較低。

此次的超結(jié)構造中n型層和p型層交錯排列。為實現(xiàn)這種構造，采用了歐姆龍的MEMS工藝技術。首先使n型層外延生長，然后利用MEMS工藝技術的蝕刻工藝鑿刻溝槽。接著在溝槽的側(cè)面注入和擴散離子，制造p型層。然后在溝槽內(nèi)嵌入絕緣子，制造電極等，完成整個制造流程。該電極的制造工藝采用了CMOS工藝。目前MOSFET的單元間距約為12μ～15μm。溝槽寬3μm，深約40μ～45μm。

生產(chǎn)基地為歐姆龍的野州事務所。已經(jīng)開始使用200mm晶元制造IceMos Technology設計的MOSFET。雙方計劃今后進一步擴充產(chǎn)品陣容。例如，預定2011年第3季度開始量產(chǎn)耐壓600V、最大漏電流為15A和10A的兩種產(chǎn)品