機遇與挑戰(zhàn)：

• MEMS迎來第三次浪潮
• 消費類和手機用MEMS最熱
• 拓展市場需跳出MEMS思維定式

市場數(shù)據(jù)：

• 非光學MEMS傳感器年增長率16.2%

MEMS迎來第三次浪潮
據(jù)ADI公司預測，先進、高性能的MEMS(微機電系統(tǒng))加速計及陀螺儀將轉換成各種不同的新型應用。因此，我們正在迎來一個應用MEMS的新浪潮，驅動這股浪潮的是人們對MEMS運動傳感器能力的意識獲得了提高。第一次浪潮是20世紀90年代由汽車安全系統(tǒng)驅動的;第二次浪潮是21世紀由消費類產(chǎn)品推動的。

ADI的副總裁兼總經(jīng)理Mark Martin展示了發(fā)展圖，由圖1可見，工業(yè)和醫(yī)療是增長速度最快的領域。在對更高水平性能需求的推動下，ADI對機器人、機器安全監(jiān)測以及便攜式醫(yī)藥設備方面提供iMEMS和iSensor運動信號處理技術。 世界主要MEMS傳感器供應商之一Bosch Sensortec公司CEO(首席執(zhí)行官)Frank Melzer也認為今年MEMS將繼續(xù)增長。他說，加速度計大批量交付給客戶設備始于2006/2007年，并于此后經(jīng)歷了高速增長的階段。由于移動電話已占據(jù)了最大的市場份額，因此，人們相信MEMS市場仍能進一步推動未來的成長。

Gartner公司調查總監(jiān)Stephan Ohr從宏觀上分析了MEMS的增長態(tài)勢。Gartner把MEMS分為光學和非光學兩大類。光學MEMS如TI公司的DLP(數(shù)字投影芯片)。非光學MEMS傳感器年增長率16.2%(圖2)，2010年市場容量會突破30億美元，有望達到31億美元;2009年為28億美元。其中，汽車應用仍然保持非光學傳感器的第一位，占2009年總應用中的60%以上;但是數(shù)據(jù)處理和通信應用增長最快，數(shù)據(jù)處理包括硬盤的G-Force(重力)傳感器，通信中包括手機的可旋轉(rational)的傳感和基于位置的服務。 Yole Developpement公司給出了MEMS代工的發(fā)展(如圖3)，也可以看到2010年以后，將迎來新一波浪潮。 消費類和手機用MEMS最熱
目前各家的MEMS熱點產(chǎn)品還是以消費電子和移動領域應用居多。iSuppli認為主要推動力在于：移動手持裝置中的運動傳感器、麥克風和多軸陀螺儀。但目前的問題是某些市場已經(jīng)飽和，例如加速度計市場正在博弈，面臨著殘酷的價格侵蝕。現(xiàn)在面臨多傳感器包(box)的發(fā)展機遇。未來還將出現(xiàn)的亮點領域是：振蕩器、開關和壓變電容(varactor)、揚聲器等。

iSuppli首席分析師兼總監(jiān)Jérémie Bouchaud指出，游戲是MEMS最主要的應用領域。在手機方面，2009年4部手機中就有一部使用加速度計。 MEMS的下一個熱點是陀螺儀(圖4)，陀螺儀有可能形成下一個加速度計現(xiàn)象。目前的焦點是3軸陀螺儀的競爭，手機中的運動芯片組現(xiàn)在出現(xiàn)了從3軸到10軸的多軸現(xiàn)象。Motorola公司手機市場份額的下滑影響了MEMS麥克風市場，因為2006和2007年Motorola的MEMS麥克風占領了移動電話市場的大半江山。盡管2009年業(yè)界整個MEMS麥克風市場總量與2008年基本持平，但Motorola的市場份額下降到20%左右。 Yole Developpement公司給出了MEMS市場的具體細分，如圖5所示。
[page]

MEMS市場主體的演變
雖然MEMS制造商解決了如此眾多的應用需求問題，但生產(chǎn)仍然受到公司數(shù)量相對有限的制約。例如，市場上10家最大的主體制造商共占據(jù)整個領域收入的50%以上，這些廠商在噴墨頭、汽車MEMS和DLP上占據(jù)了大塊市場。30家大型供應商控制了整個MEMS市場的80%。

但正是諸如消費類慣性傳感器等出現(xiàn)新增長產(chǎn)品的供應商正在躍居排行榜。由于其與智能手機行業(yè)領軍廠商Nokia和Apple公司的關系密切，所有iPhone、 iPod和Nano中由其生產(chǎn)的零部件數(shù)量每季度都超過2千5百萬個單元，因此，STM公司在歐洲獲得了42%的增長，加速度計的銷售額達到2億美元，進入排行榜。它取代汽車MEMS巨人Robert Bosch公司而在排名中名列第3，雖然Robert Bosch公司在歐洲本身也獲得了8.5%的增長，但這主要是由于其承擔的Bosch Sensortec公司的消費類業(yè)務。

慣性傳感器供應商Kionix公司(09年底成為Rohm子公司)的銷售額也借勢躍居了70%，首次進入30強。

該公司增加了3千萬美元的新業(yè)務，成為一家5千萬美元業(yè)務的公司，這主要是由于它在游戲市場中獲得的業(yè)務。在游戲市場中，加速度計所帶來的新型和更為豐富的內容，已使消費者愿意在Vtech公司為孩子們開發(fā)的基于電視的教育游戲系統(tǒng)、微軟公司推出的Xbox 游戲機中運行的Lip Karaoke游戲(帶運動傳感無線麥克風)，以及Activision公司的Guitar Hero游戲。 目前，MEMS業(yè)務的主體按地區(qū)有不同的側重，亞洲主要是制造，世界其它地區(qū)以研發(fā)為主(圖6)。

MEMS下一個增長點
iSuppli預測2009年到2013年的MEMS的年均增長率(CAGR)將達到22%。那么新的“殺手”級應用將出現(xiàn)哪個領域?我們看到了幾個跡象：2009年，Pico投影儀在市場上獲得成功(采用TI的DLP);2010年中旬，移動手持裝置中使用的RF MEMS開關和壓變電容(varactor)將成批生產(chǎn);MEMS振蕩器最終符合TCXO性能要求;MEMS微型揚聲器也許是下一個需要推廣的產(chǎn)品。

同時，為了拓展MEMS市場，需要跳出MEMS思維定式!例如從以下四個方面思考：

傳感器融合。是否一切都需要經(jīng)過應用處理器?專用低功耗MCU或“數(shù)據(jù)融合”協(xié)同處理器是否面臨發(fā)展的機遇?人們仍舊需要更加智能的軟件。

MEMS和傳感器為芯片供應商創(chuàng)造新的機遇，包括：音響處理芯片，例如，Audience公司推出的產(chǎn)品;MCU;航跡推算及室內導航芯片。 新型移動操作系統(tǒng)推動在移動手持裝置進一步采用MEMS和傳感器，例如Android和Windows Phone 7。

MEMS制造廠與CMOS制造廠的工藝革新。

Yolo給出了MEMS的新興和衰落圖(圖7)，以及2009-2015年間新興百萬美元價值MEMS預測(圖9)。 [page]

成功的必備條件
新興MEMS的特點是，達到成熟的速度較以往更快(表1)。

Bosch Sensortec公司介紹了MEMS的成功經(jīng)驗。CEO Frank Melzer說，今天要保持增長需要供應商具有多種不同的技巧。由于競爭激烈，因此這越來越成為一種最高效技術和相關服務上的競爭。提供某種也許能夠滿足應用需要的產(chǎn)品顯然是無法保證獲得商業(yè)成功的。今天重要的是要有一整套的產(chǎn)品和相關的軟件支持，使客戶能夠選擇其特定需求的最佳解決方案。對有效的系統(tǒng)集成而言，投資組合之內產(chǎn)品的兼容性及實現(xiàn)結果的可轉移性至關重要。如果產(chǎn)品批量大，且客戶產(chǎn)品平臺的生產(chǎn)提升快，則諸如可靠但靈活的供應能力及完美的產(chǎn)品質量等因素將成為客戶獲得經(jīng)濟成功的一項非常重要的因素。這說明，MEMS供應商中成功的公式中包含著多個要素，其中最重要的要素是基于技術卓越、對應用的深度理解及完美的產(chǎn)品質量之類的傳統(tǒng)技巧，以及通常有效的“貼近并理解客戶”的理念。 同時，材料、工具平臺等企業(yè)也需要配合形成一條完整的產(chǎn)業(yè)鏈。據(jù)美國應用材料公司200mm產(chǎn)品與改進部Jack Blaha介紹，該公司在MEMS新材料、制造方面不斷探索，包括鋁材料，制造的pvd和cmp制程。

MEMS融合了機械、微電子、化學等方面的技術，因此人才稀缺，為了解決MEMS設計問題，Coventor公司銷售和市場副總裁Eric Eisenhut介紹說，該公司提供從MEMS IP、驗證、工具庫到MEMS平臺的多種服務。