- 是一系列非接觸電容式間隙和平行度傳感器系統(tǒng)
- 涂布機(jī)間隙一致性優(yōu)于0.25um,在整個(gè)涂布模長度范圍內(nèi)間隙小到110um
- 測量工藝過程中CVD涂鍍頭和金屬載體輥筒間的間距,溫度可達(dá)600°C
- 太陽能面板市場
- 硅層上CVD法沉積薄膜的過程中,以及處理額外層和玻璃面板與反射背板間光伏組件的密封
Capacitec是太陽能市場的新進(jìn)者,該公司在為半導(dǎo)體制造設(shè)備提供測量技術(shù)和為OEM及終端用戶設(shè)計(jì)狹縫口模涂布機(jī)的窄隙測量系統(tǒng)上擁有超過15年的經(jīng)驗(yàn)。借助其在液體涂布市場的產(chǎn)品,Capacitec開發(fā)了這些系統(tǒng),獲得涂布機(jī)間隙一致性優(yōu)于0.25um,在整個(gè)涂布模長度范圍內(nèi)間隙小到110um。
在薄膜光伏面板制造中,Capacitec的系統(tǒng)用于在硅層上CVD法沉積薄膜的過程中,以及處理額外層和玻璃面板與反射背板間光伏組件的密封。
在柔性太陽能面板中,CVD涂布機(jī)用于透明導(dǎo)電氧化物(TCO)的生產(chǎn)中。平行度傳感器系統(tǒng)用來測量工藝過程中CVD涂鍍頭和金屬載體輥筒間的間距,溫度可達(dá)600°C。