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HSPP系列:ALPS開發(fā)了絕對(duì)壓檢測(cè)用壓敏電阻式MEMS壓力傳感器

發(fā)布時(shí)間:2008-09-18

產(chǎn)品特性:HSPP系列:ALPS開發(fā)了絕對(duì)壓檢測(cè)用壓敏電阻式MEMS壓力傳感器

  • 小型、低矮化
  • 單個(gè)元件的小型型號(hào)和內(nèi)置功率放大器的混合型兩種
  • 產(chǎn)品穩(wěn)定性好 

應(yīng)用范圍:

  • 小型便攜式設(shè)備

ALPS開發(fā)了用于檢測(cè)氣壓或者高度的HSPP系列壓敏電阻式MEMS壓力傳感器(絕對(duì)壓檢測(cè)用),該產(chǎn)超小壓力傳感器樣品將從今年的10月起開始出售。

另外,本產(chǎn)品將參展9月30日起為期五天在幕張國際展覽中心(千葉縣千葉市)舉辦的《CEATEC JAPAN 2008》。

壓力傳感器不僅活躍在汽車、醫(yī)療、產(chǎn)業(yè)設(shè)備等領(lǐng)域,而且在洗衣機(jī)等消費(fèi)電子產(chǎn)品領(lǐng)域上也得到廣泛應(yīng)用,其應(yīng)用范圍正在不斷擴(kuò)大。如今,整機(jī)廠家正在研究在PND(便攜式導(dǎo)航裝置,Portable Navigation Device)及計(jì)步器上附加高度檢測(cè)功能,這種小型便攜式設(shè)備就需要搭載更小、更薄的壓力傳感器。

作為壓敏電阻式絕對(duì)壓檢測(cè)用壓力傳感器,本產(chǎn)品通過采用我公司多年積累下來的薄膜處理技術(shù)、微細(xì)加工技術(shù)及封裝技術(shù),實(shí)現(xiàn)了小型、低矮化。單個(gè)元件的小型型號(hào)(HSPPAR)實(shí)現(xiàn)了長2.5mm x 進(jìn)深2.5mm x 高0.7mm的尺寸,內(nèi)置功率放大器的混合型(HSPPAA)實(shí)現(xiàn)了長3.5mm x 進(jìn)深3.5mm x 高1.0mm的尺寸。

產(chǎn)品的上述兩種型號(hào),有助于提高整機(jī)產(chǎn)品的設(shè)計(jì)自由度。而且,兩種型號(hào)的產(chǎn)品都適合表面貼裝。

本產(chǎn)品進(jìn)行壓力檢測(cè)時(shí)采取將電阻變化作為電壓信號(hào)來讀出的方式,來自外部的壓力使薄膜彎曲并使形成于薄膜上的壓敏電阻元件變形,該變形產(chǎn)生用于檢測(cè)的上述電阻變化。這種方式將薄膜的彎曲量直接當(dāng)作壓敏電阻元件的電阻變化來捕獲,因此可形成簡單的元件結(jié)構(gòu),而適合小型化。另外還通過ALPS獨(dú)有的微細(xì)加工技術(shù)加工出極小的傳感元件,實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)品的薄小型化。

還有,采取通過優(yōu)化蝕刻條件形成穩(wěn)定的空腔、抑制了外應(yīng)力影響的Si-Si密封接合、采用不受溫度變化影響的陶瓷材料等等措施,使產(chǎn)品性能加以穩(wěn)定。

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