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Atonarp推出創(chuàng)新計(jì)量平臺(tái)Aston,旨在提高半導(dǎo)體制造工藝的產(chǎn)量、吞吐量和效率

發(fā)布時(shí)間:2021-07-18 來(lái)源:Atonarp 責(zé)任編輯:wenwei

【導(dǎo)讀】北京 – 2021年7月16日 – 為半導(dǎo)體、保健和制藥行業(yè)提供分子傳感及診斷產(chǎn)品的領(lǐng)先制造商Atonarp今天宣布推出Aston,這是一個(gè)創(chuàng)新型原位半導(dǎo)體計(jì)量平臺(tái),帶有集成等離子體電離源。
 
Atonarp推出創(chuàng)新計(jì)量平臺(tái)Aston,旨在提高半導(dǎo)體制造工藝的產(chǎn)量、吞吐量和效率
 
Aston是半導(dǎo)體生產(chǎn)計(jì)量領(lǐng)域中的一次重大演變,實(shí)現(xiàn)了原位分子過(guò)程控制,使現(xiàn)有工廠運(yùn)行更高效,并可推動(dòng)產(chǎn)出提升。Aston專(zhuān)為半導(dǎo)體生產(chǎn)而設(shè)計(jì),它作為一個(gè)強(qiáng)大的平臺(tái),可以取代多種傳統(tǒng)工具,并在一系列全面應(yīng)用中提供前所未有的控制水平,包括光刻、電介質(zhì)和導(dǎo)電蝕刻及沉積、腔室清潔、腔室匹配和消解。
 
“通過(guò)Aston,某些應(yīng)用中的單位工藝吞吐量可以提升40%以上,這是一個(gè)很大的改進(jìn)。“對(duì)于一家典型的晶圓廠來(lái)說(shuō),即使整體產(chǎn)能提高1%,每年的產(chǎn)量也能增加價(jià)值數(shù)千萬(wàn)美元。”Atonarp公司首席執(zhí)行官、首席技術(shù)官和創(chuàng)始人Prakash Murthy說(shuō),“在現(xiàn)有生產(chǎn)工藝工具上加裝Aston,可在短短6到8周內(nèi)實(shí)現(xiàn)更高產(chǎn)量,而安裝新的生產(chǎn)設(shè)備則需要長(zhǎng)達(dá)一年的時(shí)間。這將從本質(zhì)上幫助制造商提高其生產(chǎn)水平,并有助于解決目前半導(dǎo)體晶圓廠產(chǎn)能不足的問(wèn)題。”
 
快速、可操作的端點(diǎn)檢測(cè)(EPD)是運(yùn)行半導(dǎo)體工具和晶圓廠的最有效方式。到目前為止,許多工藝步驟都無(wú)法部署EPD,因?yàn)樗璧脑粋鞲衅鞑荒芙?jīng)受住苛刻的工藝或腔室清潔化學(xué)品的影響,或者會(huì)因冷凝水沉積而出現(xiàn)堵塞。因此晶圓廠不得不設(shè)定特定時(shí)間,以確保過(guò)程徹底執(zhí)行完畢。相反,Aston通過(guò)準(zhǔn)確檢測(cè)一個(gè)過(guò)程何時(shí)結(jié)束來(lái)優(yōu)化生產(chǎn),包括腔室清潔,這可將所需的清潔時(shí)間減少80%。
 
Aston對(duì)腐蝕性氣體和氣態(tài)污染物冷凝物具有抵抗力。它比現(xiàn)有解決方案更堅(jiān)固,具有獨(dú)立的雙電離源(一個(gè)經(jīng)典的電子沖擊電離源,和一個(gè)無(wú)燈絲等離子體電離器),因此可在半導(dǎo)體生產(chǎn)中出現(xiàn)的惡劣條件下可靠運(yùn)行。這使Aston能夠原位,即在傳統(tǒng)電子電離器會(huì)迅速腐蝕和失效的苛刻環(huán)境中使用。
 
與傳統(tǒng)質(zhì)量分析儀相比,Aston的服務(wù)間隔時(shí)間延長(zhǎng)了100倍。它擁有自清潔能力,可以清除某些過(guò)程中產(chǎn)生的冷凝物沉積。
 
由于Aston能夠自主產(chǎn)生等離子體,無(wú)論是否存在過(guò)程等離子體,均可正常運(yùn)行。這與光學(xué)發(fā)射光譜測(cè)量技術(shù)相比具有明顯的優(yōu)勢(shì),后者需要等離子體源方可操作,這使Aston成為ALD和某些金屬沉積工藝的理想選擇,這些工藝可能會(huì)需要使用較弱的、脈沖等離子體,或無(wú)需等離子體進(jìn)行處理。
 
Aston還能夠通過(guò)提供量化、可操作的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)來(lái)提高過(guò)程一致性,并可通過(guò)人工智能推進(jìn)高性能機(jī)器學(xué)習(xí),滿(mǎn)足最苛刻的過(guò)程應(yīng)用。除此之外,得益于實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)分析和腔室管理的高精確度、靈敏度和可重復(fù)性,生產(chǎn)線和產(chǎn)品產(chǎn)量也得到了提高。
 
Aston主要針對(duì)化學(xué)氣相沉積(CVD)和蝕刻應(yīng)用,這兩種應(yīng)用的年增長(zhǎng)率均超過(guò)13%。該光譜儀既可在新腔室組裝時(shí)安裝在其中,也能夠加裝在已經(jīng)運(yùn)行的現(xiàn)有腔室中。
 
Aston還可與韓國(guó)ATI公司開(kāi)發(fā)的智能壓力控制器Psi組合使用。在經(jīng)歷了為期數(shù)月的全面技術(shù)可行性評(píng)估后,這一組合解決方案最近出售給三星公司,用于一個(gè)先進(jìn)的過(guò)程控制應(yīng)用。
 
Aston已可直接于Atonarp,或通過(guò)Atonarp的全球合作伙伴網(wǎng)絡(luò)進(jìn)行評(píng)估和訂購(gòu)。
 
關(guān)于Atonarp
 
Atonarp持續(xù)引領(lǐng)生命科學(xué)、制藥和半導(dǎo)體市場(chǎng)分子傳感與診斷技術(shù)的數(shù)字化轉(zhuǎn)型。在統(tǒng)一軟件平臺(tái)以及光學(xué)和質(zhì)譜技術(shù)突破性創(chuàng)新的支持下,Atonarp產(chǎn)品提供實(shí)時(shí)、可操作、全面的分子特征分析數(shù)據(jù)。在一個(gè)由半導(dǎo)體、生命科學(xué)和健康診斷儀器開(kāi)發(fā)及商業(yè)化領(lǐng)域世界級(jí)專(zhuān)家組成的團(tuán)隊(duì)的領(lǐng)導(dǎo)下,Atonarp在日本、美國(guó)和印度等國(guó)均已設(shè)立分部。敬請(qǐng)登陸https://atonarp.com,并了解更多信息。
 
 
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