國產(chǎn)太陽能和LED生產(chǎn)設(shè)備將亮相秋季中國電子展
發(fā)布時間:2010-10-13
如何發(fā)展國產(chǎn)的太陽能和LED生產(chǎn)設(shè)備,降低生產(chǎn)成本,是關(guān)乎中國綠色節(jié)能產(chǎn)業(yè)健康發(fā)展的重大命題。目前國產(chǎn)太陽能光伏設(shè)備在國內(nèi)用戶中已建立起良好的信譽,得到業(yè)界的廣泛認可,越來越多的客戶從國產(chǎn)設(shè)備使用中受益。中國光伏設(shè)備企業(yè)已基本具備太陽能電池制造整線裝備能力,部分產(chǎn)品如擴散爐、等離子刻蝕機等開始少量出口,擴散爐、等離子刻蝕機、清洗/制絨機、石英管清洗機、低溫烘干爐)已在國內(nèi)生產(chǎn)線占據(jù)主導(dǎo)地位,管式PECVD、快速燒結(jié)爐和進口設(shè)備并存但份額在逐步增大,全自動絲網(wǎng)印刷機、自動分撿機、平板式PECVD則基本依賴進口。
即將參展第76屆中國電子展暨亞洲電子展(上海)的青島華旗科技有限公司就是一家專業(yè)的半導(dǎo)體工藝設(shè)備及先進材料專用設(shè)備研發(fā)、制造廠家,致力于為半導(dǎo)體集成電路分立器件、太陽能電池、半導(dǎo)體照明LED及磁性材料廠家提供先進的專用設(shè)備,工藝涵蓋化合物半導(dǎo)體晶體生長、外延、薄膜淀積(氮化硅、氧化硅、多晶硅等)、氧化擴散退火(含快速退火工藝)合金、真空燒結(jié)等工藝。該公司最新推出的JDF200-3FS太陽能電池擴散爐可供太陽能電池片生產(chǎn)線上125mm×125mm 、156mm×156mm方片擴散、氧化、退火等工藝使用,主要特點和優(yōu)勢如下:
◆工業(yè)計算機控制系統(tǒng),對爐溫、進退舟、氣體流量、閘門等動作進行自動控制;
◆閉管式擴散系統(tǒng),有效降低生產(chǎn)成本,更潔凈,更環(huán)保;
◆石英舟采用軟著陸送片,高可靠性;
◆工藝有毒害尾氣定向收集、集中處理排放,更加安全環(huán)保;
◆具有多種工藝管路,可供用戶隨意靈活配置;
◆具有斷電報警、超溫報警、極限超溫報警等多種安全保護功能;
◆控溫精度好,溫區(qū)控溫穩(wěn)定性好;
◆關(guān)鍵件全部采用進口件,系統(tǒng)可靠性高,抗干擾性能強。
另一家參展商青島賽瑞達設(shè)備制造有限公司也將展示低壓化學(xué)氣相淀積設(shè)備、等離子增強化學(xué)氣相淀積設(shè)備和SRD-VGF單晶爐設(shè)備。其LPCVD用于淀積薄膜Poly-Si、Si3N4、SiO2、磷硅玻璃、硼磷硅玻璃、非晶硅及難熔金屬硅化物等多種薄膜。主要特性和優(yōu)勢如下:
◆ 對工藝時間、溫度、氣體流量、閥門動作、反應(yīng)室壓力實現(xiàn)自動控制;
◆ 采用進口壓力控制系統(tǒng),閉環(huán)控制,穩(wěn)定性強;
◆ 采用進口耐腐蝕不銹鋼管件、閥門,確保氣路氣密性;
◆ 具有完善的報警功能及安全互鎖裝置;
◆ 具有良好的人機界面,靈活的工藝性能。
在LED照明方面,中國的大功率特性襯底技術(shù)、加工穩(wěn)定性以及對外延效率的提升率與國外相比,差距逐漸縮小,但是上游生產(chǎn)性外延設(shè)備一直主要依賴進口昂貴的國外產(chǎn)品。MOCVD等關(guān)鍵設(shè)備對LED產(chǎn)業(yè)發(fā)展具有舉足輕重的作用,有識之士都呼吁中國相關(guān)部門要集中人才和資源進行重點開發(fā),解決制造設(shè)備中的關(guān)鍵技術(shù),掌握具有自主產(chǎn)權(quán)的核心技術(shù),并盡早實現(xiàn)LED生產(chǎn)設(shè)備國產(chǎn)化量產(chǎn)。只有這樣才會加快推動LED產(chǎn)業(yè)發(fā)展,降低LED相關(guān)產(chǎn)品的成本,實現(xiàn)健康、迅速地發(fā)展。
可喜的是,即將在第76屆中國電子展亮相的國產(chǎn)LED生產(chǎn)設(shè)備為人們點燃了希望,以青島華旗科技和青島賽瑞達為代表的一批中國設(shè)備制造商在關(guān)注太陽能電池市場的同時,正把目光投向LED、LCD、電力電子器件等市場應(yīng)用領(lǐng)域,并保持住價格優(yōu)勢,在新一輪的競爭中爭取更大的市場空間。他們或?qū)⒊蔀楦淖冎袊酥潦澜鏛ED生產(chǎn)設(shè)備市場格局的重要力量。
圖2就是青島華旗科技的一款適用于化合物半導(dǎo)體-LED/半導(dǎo)體照明等科研領(lǐng)域的外延及晶體生長MOCVD系統(tǒng)。該系統(tǒng)由生長室、氣源、氣體控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、整機的計算機控制系統(tǒng)等組成,系統(tǒng)各工藝參數(shù)均可由計算機自動控制(WINDOW 界面)。該產(chǎn)品可滿足2"多片晶圓,支持GaN/GaAs等薄膜工藝、采用電阻加熱/感應(yīng)加熱的結(jié)構(gòu)形式,生產(chǎn)能力為2英寸1、3、6片。另外,該公司還承擔了部分國家863項目(如半導(dǎo)體白光照明GaN生長的HVPE設(shè)備等)。
賽瑞達公司除了一系列太陽能專用設(shè)備之外,也開發(fā)了幾款LED生產(chǎn)設(shè)備,包括LED專用擴散爐和專用合金爐。其LED專用擴散爐和專用合金爐關(guān)鍵件全部采用進口件,具有高可靠性和高抗干擾能力,具有可編程的升、降溫功能,以及有斷電報警、超溫報警、極限超溫報警等多種安全保護功能??纱鎯艞l工藝曲線,每條工藝曲線最多有九步,曲線間可以任意鏈接、重復(fù)。另外還具有多種工藝管路,可供用戶隨意靈活配置。賽瑞達可為客戶提供斜滾式推拉舟系統(tǒng),石英雙桿推拉舟系統(tǒng)及SiC漿推拉舟系統(tǒng)的靈活選擇。
上游設(shè)備的成功本土化離不開下游外延芯片廠、LED封裝廠、模塊乃至燈具供應(yīng)商、后端設(shè)備商的配合與支持。據(jù)悉,本屆秋季中國電子展,匯集了真明麗、深圳市穩(wěn)亮電子、李洲科技、寧波升譜電子、常州愛立德電子、臺灣億光電子、金臺電子等眾多大中小型LED企業(yè),以及田中精機、昆山具良、日特機械工程、華勝科技、上海富榮電子等一大批后端生產(chǎn)設(shè)備商,并專門開辟了LED照明展區(qū),為產(chǎn)業(yè)上下游的互動提供了良好的互動平臺,有利于促成他們之間的合作。當然,就像有些專家指出的,MOCVD等關(guān)鍵裝備的國產(chǎn)化也是一件體現(xiàn)國家意志的事情,建議國家大力地投入,全面地支持去做這件事,特別要注意工藝與設(shè)備的結(jié)合,要鼓勵外延芯片廠商應(yīng)用國產(chǎn)設(shè)備,同時要給予一定的資助。
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